氦气纯化器-6N~9N纯度
氦气纯化器可将含有氦气的废气进行高度提纯，纯度可达6N(99.9999%)~9N（99.9999999%），实现24H不间断供气，具备完善的报警、联锁、数据记录功能，可实现无人看守自动运行，吸附饱和后可自动切换再生。纯化模式是在常温下进行工作。
产品介绍:
氦气纯化器可将含有氦气的废气进行高度提纯，纯度可达6N(99.9999%)~9N（99.9999999%），实现24H不间断供气，具备完善的报警、联锁、数据记录功能，可实现无人看守自动运行，吸附饱和后可自动切换再生。纯化模式是在常温下进行工作。
典型应用:
- 应用半导体、LED/激光、太阳能光伏行业
- 气体行业
技术参数：
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适用气体 |
He |
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杂质 |
INLET |
OUTLET |
|
ppm |
ppb |
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|
O2 |
<3 |
<0.1 |
|
H2O |
<3 |
<0.1 |
|
CO2 |
<1 |
<0.1 |
|
CO |
<1 |
<0.1 |
|
H2 |
<1 |
<0.1 |
|
CH4 |
<0.5 |
<0.1 |
|
Particles |
≤1pcs/m3(@0.003um) |
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标准流量 |
10~600Nm3/h |
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