氩气纯化器-6N~9N纯度
氩气纯化器可将含有氩气的废气进行高度提纯,纯度可达6N(99.9999%)~9N(99.9999999%),实现24H不间断供气,具备完善的报警、联锁、数据记录功能,可实现无人看守自动运行,吸附饱和后可自动切换再生。纯化模式是在常温下进行工作。
产品介绍:
氩气纯化器可将含有氩气的废气进行高度提纯,纯度可达6N(99.9999%)~9N(99.9999999%),实现24H不间断供气,具备完善的报警、联锁、数据记录功能,可实现无人看守自动运行,吸附饱和后可自动切换再生。纯化模式是在常温下进行工作。
典型应用:
- 应用半导体、LED/激光、太阳能光伏行业
- 气体行业
技术参数:
适用气体 | Ar | |
杂质 | INLET | OUTLET |
ppm | ppb | |
O2 | <3 | <0.1 |
H2O | <3 | <0.1 |
CO2 | <1 | <0.1 |
CO | <1 | <0.1 |
H2 | <1 | <0.1 |
CH4 | <0.5 | <0.1 |
Particles | ≤1pcs/m3(@0.003um) | |
标准流量 | 10~600Nm3/h |