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欧彼电子科技(上海)有限公司    气体纯化器    6N`9N    氩气纯化器-6N~9N纯度
氩气9N

氩气纯化器-6N~9N纯度

氩气纯化器可将含有氩气的废气进行高度提纯,纯度可达6N(99.9999%)~9N(99.9999999%),实现24H不间断供气,具备完善的报警、联锁、数据记录功能,可实现无人看守自动运行,吸附饱和后可自动切换再生。纯化模式是在常温下进行工作。

产品介绍:

氩气纯化器可将含有氩气的废气进行高度提纯,纯度可达6N(99.9999%)~9N(99.9999999%),实现24H不间断供气,具备完善的报警、联锁、数据记录功能,可实现无人看守自动运行,吸附饱和后可自动切换再生。纯化模式是在常温下进行工作。

典型应用:

  • 应用半导体、LED/激光、太阳能光伏行业
  • 气体行业

技术参数:

适用气体 Ar
杂质 INLET OUTLET
ppm ppb
O2 <3 <0.1
H2O <3 <0.1
CO2 <1 <0.1
CO <1 <0.1
H2 <1 <0.1
CH4 <0.5 <0.1
Particles ≤1pcs/m3(@0.003um)
标准流量 10~600Nm3/h