Pfeiffer TMH071 分子泵
复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ~ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的紧缩比,大大进步了泵的出口压力。法国 Alcatle 公司消费的一种采用气体静压轴承和动密封的复合分子泵,能够做到完整无油,且不用前级泵直接向大气中排气。
TMH071P普发分子泵结构特点:
复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ~ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的紧缩比,大大进步了泵的出口压力。法国 Alcatle 公司消费的一种采用气体静压轴承和动密封的复合分子泵,能够做到完整无油,且不用前级泵直接向大气中排气。
分类
复合式分子泵的方式很多,按构造分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来进步泵的抽速,普通采用有利于进步抽速的叶片外形,级数在l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的紧缩比,进步泵的出口压力。
盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽,然后将数块圆盘串接起来构成,型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。抽气时靠高速转动的圆盘对气体分子停止“拖动”,使其沿沟槽作由内向外及由外向内的往复折回的定向活动,从而到达抽气目的。
筒式牵引级是在圆筒形的转子或定子的圆柱面上开一定断面外形的沟槽,如矩形、圆弧形、三角形及其它外形的多头螺旋槽。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱表面面或泵体内外表上,因而能够充沛应用圆柱外圆较高的线速度对气体分子停止动量传送,进步泵的抽气效果。在设计制造中,能够经过改动螺旋沟槽通道与抽气方向之间的夹角( 螺旋升角 )来到达较理想的抽气效果。