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氢气氨分解气回收提纯/纯化系统

本系统用于对排放的氢气或者氨分解气进行回收，将其压缩并回收净化以便再次循环使用，此回收系统用于降低氢气或氨分解气使用的成本，所以广泛的用于硅钢罩式炉、碳化硅衬底及外延、不锈钢钎焊炉、铜及铝合金冶炼等工业领域。

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智能氙气/二氧化碳/氖气/氩气回收系统

回收系统主要包括高低压罐，缓冲容器，增压及回收装置、各类阀门等，由管道连接。能在设定的时间内对工件进行氦充注和氦回收处理。

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储能及液冷氦检及回收提纯系统

本系统是对多种类型的工件进行氦质谱检漏的专用设备，本系统基本原理为：人工将工件置于真空箱内并向其充入设定压力的氦气作为试漏介质，通过专用氦质谱仪的对其进行泄漏检测，在检测结束后将氦气回收，循环使用。

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Smart HP100i 氦气回收及提纯/纯化系统

膜分离技术是基于不同气体组分在各种膜中扩散速率不同，从而实现混合气中不同组分的分离、纯化、浓缩。

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Smart HP500 氦气回收提纯/纯化系统

膜分离技术是基于不同气体组分在各种膜中扩散速率不同，从而实现混合气中不同组分的离、纯化、浓缩。

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Smart HRP 氦气回收提纯/纯化系统

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氦气提纯/纯化设备

该设备是处理纯化氦气的核心设备，通过脱除水、油、氮、氧等杂质，将氦气纯度提升至 95% 以上甚至3-5N级别，全自动运行，设备支持全自动启停与连续运行，适配半导体、光伏、真空检漏、航天等多行业的氦气使用场景，能有效减少氦气直排损耗，降低企业用气成本，节约稀有氦资源，同时提升工艺用气的纯度稳定性。

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Smart HR氦气回收系统

设备采用高效除油、除尘、除水及全自动化控制等先进技术，回收率高，对氦气进行重复利用的同时，不影响用户氦检生产的正常进行。

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氙气回收提纯/纯化系统

该设备用于氙气回收低温精馏设备是稀有气体回收核心装置，依托氙与杂质沸点差异，经预冷、精馏柱气液传质实现分离，搭配冷凝器、再沸器形成精馏循环，回收率达 99% 以上，能将氙气提纯至超高纯级，适用于工业氙气回收及高端领域纯化需求。

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